実験設備・装置

クリーンスペース（薄膜作成の準備風景）　

基板洗浄、薄膜作製を行います。

赤外線加熱炉

Ｘ線反射率・Ｘ線回折装置

数ナノメートル（１ナノメートル=１０億分の１メートル）の薄い膜の中の結晶構造や薄膜の層構造を分析する装置です。
　　

遠赤外・赤外顕微分光装置（デジラボ社）

　　

Ｘ線・紫外線光電子分光装置

薄膜電気特性評価装置　　　　　　　　

　　　走査プローブ顕微鏡　（永田先生、匠先生にお世話になっています。）

　　戻る